設備說明:
主要用于在玻璃鏡片上鍍制增透膜、分光膜、帶通膜/截止膜、高反膜等各種膜系,能夠實現100層膜的超大形膜系鍍膜,也能滿足在樹脂上鍍制各種顏色的增透膜,及在玻璃、亞克力、水晶等材質上鍍制紅、黃、藍、綠、干邑、七彩等顏色的反光膜、裝飾膜。
主要特點:
1、 配置超大坩堝電子槍,整個蒸發過程中膜料表面平整,蒸發分布均勻;
2、 配置石英晶體膜厚控制儀可實現成膜速度和鍍膜過程的自動控制;
3、 配置大功率離子源,膜厚質量好;
4、 總統結構設計合理,更符合工藝要求,真空系統采用無油系統,可保證整個系統在無油狀態下工作;
5、 真空操作系統實現互鎖保護,擴撒泵有斷水、斷電報警功能。
6、 采用觸摸屏和PLC自動控制,實現對整機主要部件的參數化設置、實時運行監控及故障智能診斷。
主要配置:
1、 真空室采用立式前開門箱形結構,全不銹鋼箱體,內腔尺寸Φ800mm-Φ1800mm;
2、 真空系統采用分子泵(擴散泵),前級泵采用無油真空泵;
3、 采用一套水汽低溫捕集器作為真空輔助抽氣;
4、 工件架:拱形整體式工件盤,或可根據客戶要求定制;
5、 鍍膜系統:配1~2套大功率e型磁偏轉2700電子槍及多穴位坩堝,輔助鍍膜系統配霍爾離子源;
6、 烘烤:數顯自動控溫,溫度控制精度±1.5℃;
7、 膜厚控制:石英晶體膜厚監控系統,可控制電子槍蒸發速率,精確控制膜層厚度,手動和自動控制實現方便切換;光學膜厚監控系統,透射或反射光路,監控波長范圍200~900mm;
8、 控制系統:真空控制采用10.4吋彩色觸摸屏加PLC可編程序控制器控制。
技術參數:
光學鍍膜機主要技術參數 | ||||||
性能 型號 | JYG-600 | JYG-800 | JYGG-1000 | JYG-1200 | JYG-1300 | |
真空室尺寸 | Φ600X750 | Φ800X900 | Φ1000X1100 | Φ1200X1250 | Φ1300X1350 | |
結構型式 | 立式 | |||||
工件架結構 | 球面拱形 | 球面拱形、行星可選其一 | ||||
夾具轉速 轉/分 | 0-45R/min 可調 | |||||
烘烤溫度℃ | 最高溫度300℃ 可調,發熱元件管狀加熱器或溴鎢燈 | |||||
電阻蒸發源 | 2組 每組5KW | 2組 每組2KW | ||||
電子束蒸發源 | E型電子槍;束偏轉角270º,功率6KW | E型電子槍;束偏轉角270º,功率8KW | ||||
離子轟擊 | 直流電壓3KV,功率0.6KW,棒狀陰極 | |||||
光學膜厚監控系統 | 膜厚控制儀MKG-500或GMHK9704,電色儀:WDG-30光柵單色儀 | |||||
充氣系統 | 自動壓強控制儀 | |||||
真空系統(可根據用戶要求配置) | 2X-30旋片泵 KT-400擴散泵或 F-250渦輪分子泵 |
2X-70旋片泵 2X-4旋片泵 KT-500擴散泵或 F-400渦輪分子泵 |
2X-70旋片泵 2X-8旋片泵 KT-630擴散泵 ZJ-300羅芡泵 |
2X-70旋片泵 2X-8旋片泵 KT-630擴散泵 ZJ-600羅芡泵 |
2X-70旋片泵 2X-15旋片泵 KT-630擴散泵 ZJ-600羅芡泵 |
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極限壓力Pa |
≤3X10-4
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恢復真空時間(空載,從大氣抽至5X10-3Pa) | ≤15分鐘 |